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    微端铣刀对准误差对超精密加工精度影响的研究

    • 摘要: 微端铣刀是在加工如微通道和微图案模具等超精密产品时使用的一种精密工具。文章推导出表达微工具对准误差与加工精度之间关系的公式。同时,使用多元线性回归分析和方差分析,分析了加工参数的影响。结果表明,微工具的倾斜角度对加工精度的影响大于其他参数。

       

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